Oerlikon真空計如何分類?
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按真空度刻度方法分類 (1)真空計:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
(2)相對真空計:由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進刻度,必須進行校準(zhǔn)才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等。 按真空計測量原理分類 直接測量真空計 這種真空計直接測量單位面積上的力,
有: (1)靜態(tài)液位真空計:利用U型管兩端液面差來測量壓力。
(2)彈性元件真空計:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有: (1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮...
Oerlikon真空計 分類原理介紹編輯 按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。
利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
真空計波爾登規(guī)(Bourdon)
波爾登規(guī) 如右圖所示,細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
真空計薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī) 如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。
Oerlikon真空計皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準(zhǔn)確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
真空計熱電偶規(guī)
Oerlikon真空計 熱電偶規(guī) 如右圖所示,熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
Oerlikon真空計熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī) 如右圖所示,熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標(biāo)定。
真空計冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī) 如右圖所示,冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標(biāo)定。
Oerlikon真空計
一、氣動元件:
德國品牌:德國FESTO氣動元件,德國寶德BURKERT電磁閥,德國海隆諾冠 ;
日本品牌:日本SMC氣動元件 日本CKD氣動元件 小金井氣動元件日本NOK;
韓國品牌:韓國YPC氣動元件, 韓國TKC 韓國YSC氣動元件TPC氣動元件;
意大利品牌:意大利UNIVER, 意大利康茂盛,美國ASCO電磁閥,美國 ROSS
二、工控產(chǎn)品:
德國品牌:德國PILZ繼電器 ,德國IFM傳感器 ,德國海德漢HEIDENHAIN,
德國P+F傳感器,德國RENCON編碼器;德國TURCH圖爾克, 德國赫斯曼工業(yè) 交換機
日本品牌:日本歐姆龍傳感器 日本神視 日本基恩士 ,日本奧普士;
日本SUMTAK(盛太克)編碼器,日本內(nèi)密控編碼器,
三、液壓元件
美國NUMATICS紐曼帝克,PARKER氣動液壓,VICKERS威格士,美國 MOOG,美國FAIRCHILD,美國ROSEMOUNT羅斯蒙特,美國丹尼遜
德國HAWE哈威 德國REXROTH力士樂,HYDAC賀德克,德國E+H
日本油研(YUKEN)日本不二越NACHI, 日本TOYOOKI豐興日本大金
意大利ATOS阿托斯
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